激光气体在线监测设备包括氨逃逸在线监测系统(激光氨在线监测系统)、氟化氢在线监测系统、氯化氢在线监测系统、硫化氢在线监测系统等。其技术原理采用激光吸收光谱技术。激光吸收光谱技术通过监测激光光谱的吸收强度来获得气体浓度，具有不受背气、灰尘、窗口污染的影响，自动校正温度和压力补偿等优点。
氨逃逸在线监测系统
1.不受背景气体影响：半导体激光吸收光谱技术中使用的半导体二极管激光器的光谱宽度小于0.01nm，是无光谱红外气体分析仪红外光源光谱宽度的1/106，远小于被测气体吸收线的光谱宽度。在单线吸收谱图中，通过选择合适的谱线，可以在不干扰其他气体的情况下检测出相应的气体。
2.不受灰尘和窗口污染的影响：对于谐波测量，气体浓度由透射光强度的二次谐波信号与DC信号的比值决定。当光强被激光传输路径中的灰尘或窗口污染衰减时，两个信号会同时衰减，从而保证比值恒定。因此，从理论上讲，工艺气体中的粉尘和窗口污染对仪器的测量结果没有影响。但需要注意的是，当灰尘和窗口污染严重，或者激光光源强度下降到10%左右时，仪器将无法工作。
氟化氢在线监测系统
3.温度和压力对测量影响的自动修正：一般工业过程中监测的烟气可能有几百摄氏度和几个大气压的变化，会影响二次谐波信号波形的幅度和形状，进而影响测量精度。但是，可以通过添加温度和压力补偿算法来自动校正测量精度。
氯化氢在线监测系统
利用激光吸收光谱技术的氨逃逸在线监测系统几乎占据了我国氨逃逸市场的绝大部分。只有选择合理的监测技术，烟气在线监测系统才能事半功倍。
