如何改善我们的旋转涂层？
有三个简单的建议可以帮助你提高旋涂技术和最终涂层的质量。
01
试试动态分配。
通过在旋转的基底上动态分布化学物质，可以提高涂层的质量和可重复性。我们的每台旋转涂布机都提供了一个示例动态分配程序供您试验。
02
使用注射器适配器
使用注射器适配器提高手动配药的准确性。这种适配器是专门为我们所有的旋转涂布机设计的，它可以将针保持在基板中心上方的一致高度。
03
将基板准确放置在托盘上。
偏心的基材会引起振动和应力，影响你的涂层质量。在最坏的情况下，它甚至会导致基板破损和旋涂机损坏。我们为半标准晶圆提供校准器，为方形和矩形基板提供嵌入式托盘解决方案。
如何进行故障排除，优化实验过程？
我们提供终身技术支持。我们的支持团队拥有多年的旋涂经验，可以为常见的旋涂问题提供诊断和治疗。以下是我们的建议：
01清洁基材
受污染的基材可能不会完全破坏你的涂层，但你为什么要花时间和精力在从一开始就有缺陷的旋涂工艺上呢？一个完整的清洁过程应该解决所有形式的污染。
02颗粒污染
清洗后，颗粒污染也可能发生在旋涂过程中。我们的旋转涂布机旨在最大限度地减少颗粒的产生。
03化学污染
简单的观察并不总能发现晶圆上残留的化学污染物会影响你的旋涂工艺，但结果是显而易见的。下图显示了由看不见的污染点造成的涂层空隙。
排气-旋涂
这是排气旋涂工艺中经常被忽略的部分。对于简单的旋涂过程，废气可以带走室内的化学蒸汽。我们的旋转涂布机有多种选择，以满足更苛刻的要求。
05排气-蚀刻，显影和清洁
在EDC系统中进行水处理时，正确的排气量更为重要。所有可能的输入、化学试剂、用于冲洗的去离子水、用于清洁湿路径和干燥衬底的气体必须与足够的废气平衡。这样，可以防止处理室中的过压环境，并且可以快速去除多余的水。
清洁您的匀胶机
如果你想要最好的旋涂效果，你应该保持旋涂机的清洁。请参见上面执行操作的一些示例。你的过程应该被优化以使用最少的化学物质，并且旋转涂布机应该在每个操作结束时被清洗。
